مكان المنشأ: | الصين |
اسم العلامة التجارية: | Brother Furnace |
إصدار الشهادات: | CE |
رقم الموديل: | BR-PECVD |
الحد الأدنى لكمية: | 1 مجموعة |
---|---|
الأسعار: | Negotiation |
تفاصيل التغليف: | صندوق خشبي قوي للشحن العالمي |
وقت التسليم: | 7-21 أيام عمل |
شروط الدفع: | L/C, T/T, ويسترن يونيون |
القدرة على العرض: | 200 مجموعات شهريا |
أقصى درجة حرارة: | 1200 ℃ | فراغ طبيعي: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
ماكس فراغ: | مضخة جزيئية التكوين ، فراغ 7x10-4 باسكال (اختياري) | شفة: | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ شفة الختم |
حماية من الحرارة الزائدة: | إيقاف التشغيل التلقائي عندما تتجاوز درجة الحرارة القيمة المحددة المسموح بها | حماية سلامة: | يتم إيقاف التشغيل تلقائيًا عند تسرب جسم الفرن |
هيكل الفرن: | مروحة تبريد مزدوجة فولاذية مزدوجة الطبقة ، درجة حرارة السطح أقل من 50 ℃ | معدل التدفئة القصوى: | 20 درجة مئوية / دقيقة |
دقة درجة الحرارة: | ± 1 ℃ | توحيد درجة الحرارة: | ± 5 ℃ |
التحكم في درجة الحرارة: | 50 شريحة قابلة للبرمجة والتحكم الآلي | أنبوب الفرن: | أنبوب كوارتز |
تطبيق: | مختبر PECVD انقسام أنبوب الفرن مع أنبوب الكوارتز | ||
تسليط الضوء: | فرن الأنبوب الدوار,فرن أنبوب الكوارتز |
قطع الغيار القياسية:
قطع الغيار الاختيارية:
مختبر PECVD سبليت أنبوب فرن المواصفات القياسية:
1. نظام التدفئة | ||
Max.temperature | 1200 ℃ (ساعة واحدة) | |
درجة حرارة العمل | ≤1100 ℃ | |
حجم الغرفة | *100 * 1650mm (أنبوب diamater للتخصيص) | |
غرفة المواد | عالية النقاء الألومينا الألياف متنها | |
المزدوجة الحرارية | نوع K | |
Temperatureaccuracy | ± 1 ℃ | |
التحكم في درجة الحرارة | ● 50 قطعة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين ومعدل التبريد ووقت الانتظار. ● المدمج في وظيفة PID لصناعة السيارات في ضبط مع ارتفاع درجة الحرارة وحماية كسر كسر الحرارية. ● نظام التحكم الآلي PLC بواسطة وحدة تحكم الكمبيوتر في الداخل. ● يمكن التحكم في نظام التحكم في درجة الحرارة ونظام الانزلاق (الوقت والمسافة) عن طريق البرنامج. | |
طول التدفئة | 440MM | |
طول التسخين المستمر | 200MM | |
عنصر التسخين | سلك المقاومة | |
مزود الطاقة | مرحلة واحدة ، 220 فولت ، 50 هرتز | |
القوة المصنفة | 9KW | |
2. RF مصدر البلازما | ||
تردد الترددات اللاسلكية | 13.56 ميجاهرتز ± 0.005٪ | |
انتاج الطاقة | 500W | |
ماكس تعكس السلطة | 500W | |
واجهة الانتاج RF | 50 Ω ، N- نوع ، أنثى | |
قوة الاستقرار | ± 0.1٪ | |
عنصر متناسق | ≤-50dbc | |
امدادات التيار الكهربائي / التردد | مرحلة واحدة AC220V 50 / 60HZ | |
كفاءة كاملة | > = 70٪ | |
عامل القوى | > = 90٪ | |
طريقة التبريد | الهواء القسري | |
3. ثلاثة نظام مراقبة التدفق الكتلي الدقة | ||
البعد الخارجي | 600x600x650mm | |
نوع الموصل | سواجيلوك SS المشتركة | |
مجموعة قياسية (N 2) | 0 ~ 100sccm ، 0 ~ 200sccm ، أو للتخصيص | |
صحة | ± 1.5٪ | |
خطي | ± 0.5 ~ 1.5٪ | |
التكرار | ± 0.2٪ | |
وقت الاستجابة | خاصية الغاز: 1 ~ 4 ثوانى ؛ | |
نطاق الضغط | 0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال | |
أقصى ضغط | 3MPa | |
جهة تعامل | Φ6،1 / 4 '' | |
عرض | 4 أرقام العرض | |
درجة الحرارة المحيطة | 5 ~ 45 غاز عالي النقاء | |
مقياس الضغط | -0.1 ~ 0.15 ميجا باسكال ، 0.01 ميجا باسكال / وحدة | |
صمام التوقف | Φ6 | |
أنبوب البولندية SS | Φ6 | |
وشملت نظام فراغ منخفض |
لماذا Brother's Lab PECVD Split Tube فرن؟
العملاء من أكثر من 30 دولة يختاروننا
أفضل خدمة ، استجابة سريعة
إذا كنت مهتمًا بفرن أنبوب الانقسام عالي الحرارة PECVD Lab الخاص بنا مع أنبوب الكوارتز ، فاتصل بنا الآن للحصول على عرض أسعار!
اتصل شخص: li
الهاتف :: +8613526693072